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LEXIKON

Hochvakuumtechnik

die Erzeugung und wissenschaftliche und technische Anwendung von Räumen mit geringem Gasdruck. Beim Hochvakuum liegt der Druck zwischen 106 und 109 bar (Höchstvakuum 109 bis 1011 bar, Ultravakuum unter 1011 bar). Das Hochvakuum wird mit Hilfe von Vakuumpumpen (z. B. Gaedepumpen), durch Kühlung oder Absorption (Getterung) sowie durch Ionenpumpen (Gasreste werden ionisiert, wobei ein Restdruck bis 1015 bar möglich ist) erzeugt. Die Hochvakuumtechnik wird vielfach angewendet, z. B. zur Herstellung von Elektronenröhren, zur Vakuumtrocknung (Gefriertrocknung), -schmelze, -imprägnierung und -aufdampfung (etwa Metallisieren von Kunststoff-Folien) sowie für viele physikalische (z. B. Teilchenbeschleuniger) und chemische (z. B. Destillation) Vorgänge.
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