Lexikon
Hochvakuumtechnik
die Erzeugung und wissenschaftliche und technische Anwendung von Räumen mit geringem Gasdruck. Beim Hochvakuum liegt der Druck zwischen 10–6 und 10–9 bar (Höchstvakuum 10–9 bis 10–11 bar, Ultravakuum unter 10–11 bar). Das Hochvakuum wird mit Hilfe von Vakuumpumpen (z. B. Gaedepumpen), durch Kühlung oder Absorption (Getterung) sowie durch Ionenpumpen (Gasreste werden ionisiert, wobei ein Restdruck bis 10–15 bar möglich ist) erzeugt. Die Hochvakuumtechnik wird vielfach angewendet, z. B. zur Herstellung von Elektronenröhren, zur Vakuumtrocknung (Gefriertrocknung), -schmelze, -imprägnierung und -aufdampfung (etwa Metallisieren von Kunststoff-Folien) sowie für viele physikalische (z. B. Teilchenbeschleuniger) und chemische (z. B. Destillation) Vorgänge.
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