Hochvakuumtechnik

die Erzeugung und wissenschaftliche und technische Anwendung von Räumen mit geringem Gasdruck. Beim Hochvakuum liegt der Druck zwischen 10^–6 und 10^–9 bar (Höchstvakuum 10^–9 bis 10^–11 bar, Ultravakuum unter 10^–11 bar). Das Hochvakuum wird mit Hilfe von Vakuumpumpen (z. B. Gaedepumpen), durch Kühlung oder Absorption (Getterung) sowie durch Ionenpumpen (Gasreste werden ionisiert, wobei ein Restdruck bis 10^–15 bar möglich ist) erzeugt. Die Hochvakuumtechnik wird vielfach angewendet, z. B. zur Herstellung von Elektronenröhren, zur Vakuumtrocknung (Gefriertrocknung), -schmelze, -imprägnierung und -aufdampfung (etwa Metallisieren von Kunststoff-Folien) sowie für viele physikalische (z. B. Teilchenbeschleuniger) und chemische (z. B. Destillation) Vorgänge.