ESCA

Abkürzung für Electron spectroscopy for chemical analysis, auch als XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopie) bezeichnet; Methode der Elektronenspektroskopie zur Analyse der obersten Atomlagen von Festkörpern. Gemessen wird dabei die kinetische Energie der Photoelektronen, die eine Substanz bei Anregung mit Röntgenstrahlung emittiert. Das Energiespektrum dieser Elektronen gestattet eine qualitative und quantitative chemische Analyse sowie Aussagen über den Bindungszustand der jeweiligen Elemente.