Mikrosystemtechnik

ein Technologiezweig, der die Herstellung mikroskopisch kleiner mechanischer oder elektromechanischer Bauteile (Teilgebiet Mikromechanik) und ihre Kombination mit mikroelektronischen Schaltkreisen, optischen Elementen und Sensoren auf der Basis von einkristallinem Silicium zum Ziel hat.

Wesentlich ist, dass die Funktionen des Mikrosystems eigenständig erfolgen. Dabei liefern Sensoren Daten aus der Umwelt, deren Verarbeitung erfolgt nach Konzepten der Informatik, Aktoren (Mikrobauelemente, die mechan. Kräfte ausüben, z. B. Mikroschalter, mikromechanische Ventile, Mikromotoren) ermöglichen eine Beeinflussung der Umgebung. So könnte z. B. ein Mikroanalysesystem für Flüssigkeiten aus einem Kanalsystem, mehreren Mikropumpen, -ventilen und Sensorarrays bestehen, die zusammen mit der Steuer- und Auswerteelektronik auf einem einzelnen Siliciumchip untergebracht sind.